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上海市真空學會組織召開《大尺寸高端氧化銦錫(ITO)靶材關鍵技術開發及產業化》技術 ...

2019-6-6 09:01| 發布者: admin| 查看: 59| 評論: 0|來自: 上海市真空學會

摘要: 2019年5月25日,受上海大學委托,由上海市真空學會組織的專家評審組,在上海大學平板中心會議室主持召開了由上海大學、廣西晶聯光電材料有限責任公司、復旦大學、洛陽豐聯科綁定科技有限公司合作研發的“大尺寸高端 ...

        2019年5月25日,受上海大學委托,由上海市真空學會組織的專家評審組,在上海大學平板中心會議室主持召開了由上海大學、廣西晶聯光電材料有限責任公司、復旦大學、洛陽豐聯科綁定科技有限公司合作研發的“大尺寸高端氧化銦錫(ITO)靶材關鍵技術開發及產業化”技術成果鑒定會。項目圍繞高端ITO靶材大尺寸、高密度與低結瘤的技術難題,開展了應用于平板顯示的大尺寸靶材關鍵技術及產品的研發與產業化。主要解決了粒徑可控的ITO粉末制備、大尺寸ITO靶材坯體成型、超高密度ITO靶材燒結、高焊合率背銦綁定及非晶化鍍膜等關鍵技術,形成了具有自主知識產權的大尺寸ITO靶材制造整體技術。


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